光刻机
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中国光刻机之殇：入华 32 年，ASML 已出货 700 多台，但 EUV 被美国盯死，1.2 亿美元也难买
中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机。具体来说，就是 EUV （极紫外光源）光刻机。张江高科投资国产光刻机企业上海微电子，持股10%
张江高科通过全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有“上海微电子”10.779%股权，为其第四大股东。
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